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机译:使用H2O2作为氧化剂在胶体二氧化硅基浆液中的化学机械抛光
Fudan Univ Sch Microelect State Key Lab ASIC &
Syst Shanghai 200433 Peoples R China;
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机译:使用H2O2作为氧化剂在胶体二氧化硅基浆液中的化学机械抛光
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