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机译:用于纳米装置气隙/间隔形成的夹紧等离子体CVD沉积工艺和材料技术
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机译:用于纳米装置气隙/间隔形成的夹紧等离子体CVD沉积工艺和材料技术
机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)氧化硅过程中作为液态材料蒸发载气的氩气的评估
机译:使用脉冲等离子体和热线CVD沉积技术的高沉积速率非晶和多晶硅材料的研究进展
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机译:使用冰柱/覆冰板电极系统研究覆冰绝缘子气隙中的放电和空间电荷形成现象=研究空气间隔中的放电过程和空间电荷的形成d ''使用冰/覆冰的极板构造的冰覆盖的绝缘体
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