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机译:六甲基二硅氧烷混合物对薄膜沉积氩气屏障放电的放电特性的影响
大气压介电屏障放电(
Leibniz‐Institut für Plasmaforschung und Technologie (INP Greifswald)Greifswald Germany;
Leibniz‐Institut für Plasmaforschung und Technologie (INP Greifswald)Greifswald Germany;
Technische Universit?t BraunschweigInstitut für Oberfl?chentechnikBraunschweig Germany;
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dielectric barrier discharges; hexamethyldisiloxane; numerical modelling; plasma polymerization;
机译:六甲基二硅氧烷混合物对薄膜沉积氩气屏障放电的放电特性的影响
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机译:六甲基二硅氧烷混合物对薄膜沉积氩气介电阻挡放电放电特性的影响