机译:RF功率对RF溅射Al掺杂ZnO薄膜结构,光学和气体感测性能的影响
Bangalore Univ Dept Phys Bangalore 560056 Karnataka India;
Korea Inst Sci &
Technol Future Convergence Res Div Interface Control Res Ctr Hwangro 14 Gil 5 Seoul 136701 South Korea;
Indian Inst Sci Educ &
Res Sch Phys Thiruvananthapuram 695016 Kerala India;
UGC DAE Consortium Sci Res Kalpakkam Node 603104 Kokilamedu India;
Indira Gandhi Ctr Atom Res Radiol Safety Div Kalpakkam 603102 Tamil Nadu India;
Bangalore Univ Dept Phys Bangalore 560056 Karnataka India;
Indian Inst Sci Mat Res Ctr Bangalore 560067 Karnataka India;
Korea Inst Sci &
Technol Future Convergence Res Div Interface Control Res Ctr Hwangro 14 Gil 5 Seoul 136701 South Korea;
机译:RF功率对RF溅射Al掺杂ZnO薄膜结构,光学和气体感测性能的影响
机译:在不同气体环境下沉积的RF溅射ZnO薄膜的电,光学和结构性质的比较
机译:射频功率对溅射Ga掺杂ZnO薄膜的光学,电,机械和结构性能的影响
机译:射频溅射ZnO薄膜:结构,电学和光学性质的定制
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:氧溅射压力对气敏性ZnO薄膜结构形貌和光学性质的影响
机译:射频功率对射频溅射铝掺杂ZnO薄膜的结构,光学和气敏特性的影响