旭硝子、ArF液浸用半導体製造フォトマスク合成石英基板を開発

摘要

旭硝子は、半導体製造におけるフォトリソグラフィー光源の1つであるArF（フツ化アルゴン）レーザーステッパーの液浸技術に対応した低複屈折率のフォトマスク用合成石英基板「QC－1（アイ）」の開発に成功した。 今後、半導体ステッパーメーカーがArF液浸ステッパー量産機を2005年から2006年にかけて上市する見通しのなか、旭硝子は新しい合成石英基板で2008年に売上高10億円を見込む。