JSR、四日市にクリーンルーム棟建設～来年末完成／先端研究強化

摘要

JSRは情報電子材料を中心とする最先端材料の研究開発体制を強化するため、四日市地区研究所に新クリーンルーム棟を建設する。 来年12月完成予定で、総投資額は評価設備などを加えて約35億円。建屋は鉄筋コンクリート5階建て、延床面積は約4，400m~2。 将来の技術開発に備え、現行の最先端デバイスの製造ラインに匹敵するクラス10以下（1立法フィート中に0．3μm以上のゴミが10個以下）のクリーン度に対応できるようにする。