東ソー、フレキシブルディスプレイ向けに新ガスバリア材料開発

摘要

東ソーは、フレキシブルディスプレイの品質向上に不可欠な高性能ガスバリア材料「TG－4E」を開発した。同材料を使用して、製膜法の1つであるPECVD法（プラズマ 励起化学気相成長法）によりガスバリア膜を作製すると、極めて高いガスバリア性を発揮 することを確認した。今後は国内外のデバイスメーカーやフィルムメーカーでの性能評価 を進めていく。