AGC、福島の子会社工場でフ才トマスクブランクスを倍増強

摘要

AGCは、グループ会社であるAGCエレクトロニクス（福島県郡山巿、AGC100%出資）でEUV露光用フォトマスタブランクスの供給体制を増強する。今後のさらなる市場の伸長に対応するため、2020年10月から数百億円を投じて建屋拡張を含めた増強工事に着ェし、2022年の生産開始を目指す。EUVマスクブランタスの能力は現状比で2倍程度に増加する見込み。