常圧プラズマによるPFC排ガス処理装置独自開発

摘要

排ガス処理システムの総合メーカーであるクリーン·テクノロジー（本社·大阪府泉佐野市、淡路敏夫社長）は、独自開発したロングアークプラズマ技術により、四弗化炭素（CF4）や六弗化硫黄（SF6）などのPFCを高効率に分解する装置を開発、半導体分野への展開を囲っている。四弗化炭素や六弗化硫黄はエッチング工程で用いられる重要な材料ガスであるが、地球温暖化係数が高く、使用量の削減や排ガス処理が求められている。