常压微波等离子体处理废气

摘要

本文对各种常压等离子体源进行了概括和比较，并介绍了它们在光谱分析、材料、医学、环境保护、军事等领域的广泛研究和应用。常压等离子体源因为不需要配套真空设备，在成本、体积、维护方面具有不可比拟的优势，具有广阔的应用前景。 基于常压等离子体的诸多优点，实验室自行设计了常压微波等离子体射流装置进行了处理工业废气的研究。该装置在大气压下稳态运行，放电强度高、气体的离解度高、对废气的处理效果好。采用控制淬冷工艺在消除废气污染的同时能够回收到不同粒径和结晶程度的纳米副产品，节约成本，符合大规模工业应用和建设资源节约型社会的要求。 对回收到的纳米材料进行了Raman、XRD、SEM、HRTEM、EDAX、FTIR以及发射光谱分析，并探讨了该技术在工业上的潜在应用前景。

目录

文摘

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第1 章绪论

1.1 等离子体的特性及分类

1.2 常压等离子体源

1.2.1 常压直流和低频等离子体源

1.2.2 常压射频等离子体源

1.2.3 常压微波等离子体源

1.2.4 常压复合等离子体源

1.3 常压等离子体的应用

1.3.1 光谱分析

1.3.2 材料表面改性

1.3.3 清洗蚀刻

1.3.4 材料制备与合成

1.3.5 医用及消毒

1.3.6 环境保护

1.3.7 等离子体武器

1.4 本工作的目的、意义

第2 章常压微波等离子体源的研制

2.1 引言

2.2 等离子体炬谐振反应腔

2.2.1 电磁场增强结构

2.2.2 平动调制结构

2.2.3 喷嘴

2.2.4 保护系统

2.3 装置运行调试

2.4 等离子体射流的性质

2.5 本章小节

第3 章常压微波等离子体炬处理含碳废气

3.1 引言

3.2 常压微波等离子体处理有机废气实验

3.2.1 实验样品的制备

3.2.2 实验样品的表征

3.2.3 实验结果与讨论

3.2.4 结论

3.3 常压微波等离子体处理温室气体CO2 实验

3.3.1 实验样品的制备

3.3.2 实验样品的表征

3.3.3 实验结果与讨论

3.3.4 结论

第4 章常压微波等离子体炬处理含硅废气

4.1 引言

4.2 实验

4.2.1 实验样品的制备

4.2.2 样品的分析与表征

4.3 实验结果与讨论

4.3.1 SEM表面微区形貌分析

4.3.2 XRD分析

4.3.3 EDAX分析

4.3.3 光谱分析

4.4 结论

第5 章论文总结与展望

5.1 论文总结

5.2 展望

参考文献

硕士期间发表的与本文有关的论文及专利

致谢