CF4四弗化炭素エッチングガス主力の地位不動

摘要

四弗化炭素（CF4）の2011年の需要量は前年比5％減の450tと推定される。同ガスは半導体製造工程のエッチング用ガスとして主力であるが、地球温暖化効果ガスとして排出量の削減が求められている。半導体不況と排出量削減が相まって2009年には357tと同27％減と大幅な出荷量減少となっている。しかし、10年は475．9t、33．3％増と急回復した。