ハイブリッド式除害装置開発で、大流量対応強化

摘要

近年半導体工場でハロゲンガスやPFC系ガスの使用量増加に伴い、排ガス処理の「大流量化」がニーズとして高まりつつある。排ガス処理装置専業メーカーのカンケンテクノではそういったニーズに応える形で、ハイブリッド式除害装置の開発を発表する。