高圧対応のシリンダー充填用フィルター、ゲツターボンプの新製品など

摘要

同社はサエス·ゲッターズ·グ ループのサエス·ピュア·ガス社 の精製装置、精製器の装置納入、 保守サービスを中心とする事業会 社。昨年に引き続き、窒素やアル ゴンなどガスのシリンダー充填 の際の、高圧（30MPa）対応でガ スの純度を7ナインにまで恵める 「H2シリーズハイプレッシャー フィルター」をはじめ、次世代半 導体SiC （炭化ケイ素）、DLC （ダイヤモンドライクカーボ ン） の高純度化·デバイスの高性 能化に貢献するゲッター式の「モ ノトール~R題意純度ガス精製装置」 及び、LED·OLED製品の高 輝度化·長寿命化に貢献する「マ イクロトール~Rガスフィルター（精 製器）／ファシリトール~Rガスフィ ルター（精製器）」を実機展示し、 サエス社の国内総代理店として各種装置をアピールする。