来夏に供給開始のモノシラン新プラント（三重県四日市）、MOCVD関連のトータルソリューション、次世代プロセス向け新材料

摘要

「The Gas Professionals」を掲げ、ガスのトータルサプライヤとしてガス及び関連機器、製品を展示する。創業100周年（旧日本酸素として）を迎えた今年は、同社のエレクトロニクス分野（半導体、液晶など）における過去から現在までの技術的な取組みを歴史年表形式で、そして次の100周年に向けての一歩として次世代プロセス向けの新材料などの新製品を紹介する。