(J028)純チタン板の摩擦係数におよぼす酸化チタン皮膜形成条件の影響

摘要

純チタン板の表面に酸化チタン皮膜（以下 酸化皮膜）を形成することで、潤滑性や耐摩耗性が改善される1),2),3),4)。一般的な酸化皮膜の形成方法（以下 成膜方法）として、大気中で熱処理する大気酸化、チタンを陽極として電解溶液中で電圧を付加する陽極酸化、物理蒸着により成膜するイオンプレーティングなどが知られている。いずれも酸化チタンからなる酸化皮膜であるが、各成膜方法によって潤滑性に違いがあると考えられる。本報では、上記三種類の成膜方法によって純チタン板の表面に形成した酸化皮膜の摩擦係数を比較し、結晶構造、結晶性および形態の影響について考察した。