切削加工（微細加工）① No.115：コアレス方式リニアモータ駆動超微細リニアナノ加工機による微細加工

摘要

マシニングセンタを使用しての微細加工の要求が近年ますます高くなっており、当社では、リニアモータ駆動の高速マシニングセンタを市場に供給している。 この度、さらに高品位な微細加工を求めるユーザーの要求に応えるために、最高回転速度120,000min{sup}(-1) を可能とする主軸搭載のコアレスリニアモータ駆動超微細リニアナノ加工機を開発したので、その特徴および加工事例を報告する。