ポリシングにおける加工形状シミュレーション

摘要

従来、軸対称非球面を均一にポリシングする研究が報告されている。しかし、工具の走査速度を求める際、工具と工作物が点で接触すると仮定しているので、中心部で走査速度が発散してしまう。 本研究ではポリシングによる形状修正加工を実現するために、自動ポリシングの加工特性を調査し、加工形状のシミュレーションを行う。 さらに、形状修正加工のための工具の制御法を求めるプログラムを開発し、工具制御法を検討する。