リニアモータ駆動放電加工機による超精密放電加工技術

摘要

最近のデジカメや携帯電話などのモバイル製品は多機能、高容量化が進み、さらに軽薄短小化に拍車がかかっている。 このような背景から、金型をはじめ関連部品には、より微細精密加工と短納期が要求されている。 当社では1998年11月に世界初となるリニアモータ駆動形彫り放電加工機を発表して以来、ワイヤ放電加工機、マシニングセンタ、ナノマシンなど主力製品のすべてにおいてリニアモータ化を行ってきた。 リニアモータは直線運動のアクチュエータとしてダイレクト駆動であるため、高応答性に優れ、微細精密加工機にとってはもっとも理想的な条件を備えたアクチュエータとしてその真価を発揮している。 本稿では、小型超精密加工用として開発されたリニアモータ駆動超精密形彫り放電加工機、および、リニアモータ駆動ワイヤ放電加工機を用いた最近の加工事例をあげ、最新加工技術を紹介する。