東芝、高速検知と低消費電力を両立した水素センサー開発

摘要

東芝はこのほど、検知速度を落とすことなく、従来の約百分の一以下の低消費電力で水素ガスを検知する水素センサーを開発した、と発表した。今回の開発では、センサー膜にパラジウム系金属ガラスを用いた同社独自のMEMS （微小電気機械システム）構造を採用することで、従来トレードオフの関係にあった高速検知と低消費電力を両立することに成功。