先端材料を支える分析·解析·計測技術室No.13蛍光X線分析法による多層めっきの膜厚測定（下）

摘要

1．Cu上に形成したNi／Pd／Auめっきの表面観察めっきを表面観察する目的としては、表面性状、物性、異物、腐食、あるいはウイスカ発生状態を調べることなどが挙げられる。Ni／Auめっきの場合は、Au層にピンホールが存在すると下のNi層の腐食が進hだりホールの進展が起こったりするため、めっきの信頼性が著しく低下する。