多层膜微结构参数的低角X射线衍射分析

摘要

在各种表征多层膜微结构的实验技术中，X射线衍射法是最常用的一种，其中掠入射X射线衍射分析(GIXA)具有无损检测和较高的空间分辨本领的优点。由低角XRD测得的反射率曲线可以给出薄膜的密度、厚度以及表面粗糙度等微观结构信息。这些检测方法对于高新技术超薄多层膜磁性金属材料，尤其是纳电子学用的自旋阀多层膜材料的微结构表征有其广阔的应用前景。