感光性ゾルゲル材料を用いた光導波路の形成

摘要

通信用光導波路に求められる光学特性と高い耐熱性をもつ新素材として感光性ゾルゲル材料を開発した。 本材料は全湿式の直接光リソグラフィーにより微細導波路を製造でき、FTTH拡大に伴いニーズが高まっている低コストの光導波路の素材として期待される材料である。FTTHの普及に伴い、安価な光導波路部品への要求は高まっているが、従来の石英ベースの光導波路部品は、CVDやFHDを用いる高温プロセスと、レジストと反応性イオンエッチングを併用した長時間かつ複雑な工程により、低コスト化には限界がある。