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机译:微波等离子体辅助共溅射沉积Mg-Ti-H膜的形态学和微观结构
Univ Grenoble Alpes CNRS IN2P3 LPSC 53 Rue Martyrs F-38026 Grenoble France;
Perm State Univ 15 Bukirev Str Perm 614990 Russia;
Univ Grenoble Alpes CNRS Inst NEEL F-38042 Grenoble France;
Univ Grenoble Alpes CNRS IN2P3 LPSC 53 Rue Martyrs F-38026 Grenoble France;
Univ Grenoble Alpes CNRS IN2P3 LPSC 53 Rue Martyrs F-38026 Grenoble France;
Mg-Ti-H films; Plasma assisted reactive sputtering; Metal hydrides; Structure; Ti content;
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