金属有機構造体を利用した微量水分計の開発

摘要

半導体の製造をはじめとした多くの産業に使用される高純度ガスに水分が混入すると，酸化のため製品性能や歩留まりの悪化を引き起こす。例えば，わずかl.Oppmの微量水分の残留が，窒化ガリウム系LEDの輝度を著しく低下させることが知られている。水分は大気中に大量に存在するため容易に混入しうる上に，極性分子であるため様々な物質に吸着し，一旦混入すると大量のパージガスを使用して除去する必要がある。従って製品性能確保のため，製造プロセスに用いられるエ業用ガス中の水分濃度のモニタリングは非常に重要であり，応答速度および感度に優れた微量水分計が求められている。