結晶系セル電極焼成の最適温度条件決定における短時間化について

摘要

近年各種環境問題がクローズアップされる中，太陽光発電に対する注目度がますます増大している。その中で，多結晶シリコン太陽電池は，変換効率および費用対効果において優れているため現状主流となっている。近年さらなる変換効率向上に，シリコン基板表裏面の電極乾燥·焼成工程における温度履歴（以下プロファイルと称する）が大きく寄与することが判明してきた。結果，様々なプロファイルでの電極焼成の試みがなされるようになり，必然的に，より多種類のプロファイル実現および効率的試験焼成の双方が可能な試験炉および，それに直結した量産炉の需要が増大してきた。こうした状況をふまえ，当社では当該目的に耐えうる各種加熱炉の開発に力を注いできたが，以下そうした試みの一端について紹介する。