机译:在过氧化氢水溶液中Cu化学机械抛光机制的原子洞察:Reaxff反应性分子动力学模拟
Tsinghua Univ State Key Lab Tribol Beijing 100084 Peoples R China;
Tsinghua Univ State Key Lab Tribol Beijing 100084 Peoples R China;
Penn State Univ Dept Mech &
Nucl Engn State Coll PA 16802 USA;
Penn State Univ Dept Mech &
Nucl Engn State Coll PA 16802 USA;
RxFF Consulting LLC State Coll PA 16801 USA;
Tsinghua Univ State Key Lab Tribol Beijing 100084 Peoples R China;
Tsinghua Univ State Key Lab Tribol Beijing 100084 Peoples R China;
机译:在过氧化氢水溶液中Cu化学机械抛光机制的原子洞察:Reaxff反应性分子动力学模拟
机译:H2O2水溶液中Cu表面化学机械抛光的原子机理:紧密结合量子化学分子动力学模拟
机译:Cu CMP在H2O2水溶液中的原子机制:使用Reaxff反应力场的分子动力学模拟
机译:Si和Cu化学机械抛光工艺中的原子洞察材料去除机制:Reaxff反应性分子动力学模拟
机译:铜电化学机械抛光(Cu-ECMP)中的实验和分子动力学研究。
机译:反应性分子动力学模拟中基于第一原理的反应动力学:在过氧化氢分解中的应用
机译:用于模拟C / H / O分子对Cu - 金属和Cu-氧化物表面的催化转化的Reaxff反应力领域的研制及其在Cu / Cuo基化学循环中的应用
机译:ReaxFF反应动力学分子动力学中凝聚相硝基甲烷的热分解