机译:具有用于双向3-Omega的通孔通孔的微制造传感器平台,固体和液体样品的双向3-Omega热表征
Berliner Nanotest &
Design GmbH Berlin Germany;
Berliner Nanotest &
Design GmbH Berlin Germany;
VTT Tech Res Ctr Finland Ltd Espoo Finland;
VTT Tech Res Ctr Finland Ltd Espoo Finland;
Berliner Nanotest &
Design GmbH Berlin Germany;
Tech Univ Chemnitz Chemnitz Germany;
Univ Lyon CNRS INSA Lyon CETHIL Lyon France;
Univ Lyon CNRS INSA Lyon CETHIL Lyon France;
VTT Tech Res Ctr Finland Ltd Espoo Finland;
Thermal sensors; Bidirectional 3-omega method; Thermal characterization platform; Thermal conductivity; Thermal diffusivity; Microfabrication; Atomic layer deposition (ALD);
机译:具有用于双向3-Omega的通孔通孔的微制造传感器平台,固体和液体样品的双向3-Omega热表征
机译:使用微型3型欧米茄传感器测量薄生物组织的热导率
机译:注意:开发用于测量皮升级液体样品热导率的微型传感器
机译:通过具有成本效益的ECDM工艺来制造和表征基于玻璃通孔(TGV)的3D螺旋和环形电感器
机译:基于3-Omega技术进行动态冻结应用的微热传感器的开发
机译:基于新型杯形芳烃平台上离子液体的固体接触式电位传感器
机译:具有用于双向3-Omega的通孔通孔的微制造传感器平台,固体和液体样品的双向3-Omega热表征