机译:使用微制造的悬臂沉积在304不锈钢箔上涂铝氮化铝膜的杨氏模量和疲劳研究
Tohoku Univ New Ind Creat Hatchery Ctr Aoba Ku 6-6-10 Aramaki Aoba Sendai Miyagi 9808579 Japan;
Tohoku Univ New Ind Creat Hatchery Ctr Aoba Ku 6-6-10 Aramaki Aoba Sendai Miyagi 9808579 Japan;
Tohoku Univ New Ind Creat Hatchery Ctr Aoba Ku 6-6-10 Aramaki Aoba Sendai Miyagi 9808579 Japan;
Micro-fabricated cantilever; Aluminum nitride film; 304 Stainless steel foil; Young's modulus; Fatigue;
机译:使用微制造的悬臂沉积在304不锈钢箔上涂铝氮化铝膜的杨氏模量和疲劳研究
机译:*使用等离子聚焦装置在304型不锈钢上形成氮化钛薄膜的研究
机译:用于高效压电振动能量收集器的不锈钢箔上氮化铝薄膜的晶体学研究
机译:悬臂结构铝薄膜的杨氏模量测量
机译:在304不锈钢箔上进行熨烫的微深拉工艺的研究。
机译:从剪切面和冲载荷研究奥氏体不锈钢JIS SUS304的薄箔微冲裁的最佳间隙
机译:使用微制造的悬臂沉积在304不锈钢箔上涂铝氮化铝膜的杨氏模量和疲劳研究