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机译:超薄氧化铝和氮化硅MEMS制造电子乘法的膜
Delft Univ Technol ECTM Delft Netherlands;
Delft Univ Technol ECTM Delft Netherlands;
Natl Inst Subatom Phys Nikhef Amsterdam Netherlands;
Delft Univ Technol ECTM Delft Netherlands;
timed photon counter; secondary electron emission; atomic layer deposited alumina; LPCVD silicon nitride; ultra-thin membranes;
机译:超薄氧化铝和氮化硅MEMS制造电子乘法的膜
机译:由氮化硅/硅叠层制成的高度多孔的硅膜
机译:使用干法刻蚀制造的超薄多孔硅膜
机译:定时光子计数器电子乘法富含含硅氮氮化硅膜的优化
机译:通过氮化硅自轧膜微管纳米技术小型化芯片无源电子器件的小型化
机译:50纳米厚氮化硅膜的原子分辨率扫描透射电子显微镜
机译:定时光子计数器中用于电子倍增的富硅氮化硅膜的优化