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机译:使用多尺度模拟EUV光致抗蚀剂的选择性溶解控制:混合系统的合理设计
Seoul Natl Univ Sch Mech &
Aerosp Engn Inst Adv Machines &
Design Seoul South Korea;
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Seoul Natl Univ Sch Mech &
Aerosp Engn Div Multiscale Mech Design Seoul South Korea;
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机译:使用多尺度模拟EUV光致抗蚀剂的选择性溶解控制:混合系统的合理设计
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