( S305) 低加速SEM の観察条件変更による鋼板表面の形状情報と物質情報の取分け

摘要

低加速電圧条件下での走査電子顕微鏡（SEM）観察は、試料極表層の形状情報だけでなく物質に関する情報などを可視化できる。我々は、二つの異なる電子検出器を用いることで、試料表面の形状情報と物質情報を同時に取分けることができることを示してきた[1, 2]。すなわち、入射電子のブースターと磁場-静電レンズを有するSEM において、ET 検出器（Everhert-Thonley; ET 検出器）とインレンズ型検出器を用いることで、それぞれ形状情報と物質情報が主体のSEM 像を得ることができる。その一例をFig.１(a)と(b)に示す。ET 検出器で表面の形状を強調したSEM 像（a）を、インレンズ検出器で鋼板表面の酸化物粒子（暗いコントラスト）を強調したSEM 像(b)を、同時に取得できている。今回は、これらの検出器を用い、観察条件の変更およびインレンズ検出器の検出面の制限による、SEM 像コントラストの変化を調査した結果を報告する。