机译:有源多层反射镜可在极端紫外线(EUV)波长下进行反射率调整
机译:有源多层反射镜可在极端紫外线(EUV)波长下进行反射率调整
机译:Mo / Si多层镜在13.5 nm的计量,该激光使用了基于气团靶的激光产生等离子体超紫外线(EUV)源
机译:基于铍的多层镜,用于软X射线和极端紫外线波长范围
机译:通过部分蚀刻到EUV多层镜中制造极紫外光刻的相移掩模的设计和方法
机译:极紫外区域中用于多层反射镜的新材料。
机译:使用极端紫外(EUV)辐射和EUV诱导的氮等离子体的聚醚醚酮(PEEK)的物理化学表面改性
机译:有源多层反射镜,用于在极紫外(EUV)波长下进行反射调谐
机译:用于EUV(极紫外)宽视场望远镜的金属多层反射镜。