机译:用于微光刻的EUV源中的物理过程
机译:用于微光刻的EUV源中的物理过程
机译:针对EUV微光刻的照明光学单元获得专利
机译:EUV源的高Z等离子体的原子过程和状态方程及其对等离子体的时空演化的影响
机译:激光沉积套件的开发,用于微光刻的EUV源建模
机译:明亮相干超快速桌面光源的开发以及EUV在软X射线吸收光谱学中的应用。
机译:在EUV大气模拟室上研究泰坦大气的光化学过程
机译:EUV(极端超紫色)光源研究的现状和未来4.Aser产生的等离子体光源4.1激光产生的等离子体EUV源开发