机译:超声辅助水下激光微加工硅
Ultrasonic; Laser; Underwater; Silicon; Flow; Micromachining;
机译:超声辅助水下激光微加工硅
机译:超声波辅助水闸机理研究硅的局限性激光微机理
机译:硅和金属的水下准分子激光微加工
机译:超声波辅助水下激光微机械线的初步研究
机译:用于高温MEMS传感器的4H和6H碳化硅晶片的脉冲激光烧蚀和微加工。
机译:更正:C.-E. Athanasiou。等。使用飞秒激光制造和操作的用于研究二氧化硅多晶型微力学的整体式微拉伸测试仪。微型机械201561365–1386
机译:沿着曲线的微加工:飞秒激光通过加速光束对金刚石和硅中的弯曲轮廓进行微加工