水辅助准分子激光微加工硅的实验研究

摘要

为了研究脉冲激光在不同介质中的刻蚀特性,采用20 ns短脉冲、248 nm准分子激光(能量为150 mJ～250 mJ)分别在水和空气两种介质中对半导体单晶Si片进行微刻蚀实验研究.在实验的基础上,研究了两种介质中准分子激光刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌和刻蚀速率,并对结果进行了对比分析.研究结果表明,水辅助激光微加工时,熔屑易从加工区排出,有助于提高加工的表面质量;同时,水的约束提高了冲击作用,使得刻蚀速率加快.