机译:大功率脉冲磁控溅射:基本原理和应用
Nitride materials; Thin films; Mechanical properties; Atom; molecule; and ion impact;
机译:大功率脉冲磁控溅射:基本原理和应用
机译:直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射在SAW应用中沉积的AlN膜
机译:Cu的作用对由高功率脉冲磁控溅射和脉冲DC磁控溅射组合的混合系统沉积的TIB2膜微观结构和性能
机译:大功率脉冲磁控溅射:基本原理和应用
机译:用于互连金属化的高功率脉冲磁控溅射和调制脉冲功率溅射的比较。
机译:低温下大功率脉冲磁控溅射在铀上沉积的TiN膜
机译:从调制脉冲功率磁控溅射(MPPMS)到深振荡磁控溅射(DOMS)的延迟放电桥接两种溅射模式