机译:通过改善蚀刻轮廓来减少硅纳米光子波导微弯的损耗
Integrated nanophotonic; Waveguides; Micro-bends; Silicon nanophotonics and plasma etching;
机译:通过改善蚀刻轮廓来减少硅纳米光子波导微弯的损耗
机译:绝缘体上硅纳米光子波导的低损耗,低串扰交叉
机译:使用各向同性湿法刻蚀和使用损耗材料的低损耗线波导制造来控制非晶硅的纳米级厚度
机译:超低损耗面内纳米光子硅波导交叉中平板高斯光束的三模合成
机译:用蚀刻和沉积法对二氧化硅接触孔的等离子体蚀刻轮廓进行建模。
机译:纳米光子波导增强拉曼光谱中的氮化硅背景
机译:通过蚀刻轮廓改进减少硅纳米光波导微弯的损失