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机译:氮化硅原子层沉积过程中不同表面部位与氯化硅的反应性
机译:氮化硅原子层沉积过程中不同表面部位与氯化硅的反应性
机译:氮化硅原子层沉积过程中氯化硅的表面反应
机译:氮化硅原子层沉积中氯封端表面不同氮化剂的反应性
机译:用角析硬X射线光电子光谱法测定通过沟槽结构的原子层沉积在硅衬底上形成的氮化硅膜
机译:研究硅衬底上的氧化物,硅化物和氮化物薄膜原子层沉积中的初始表面反应。
机译:氮化硅薄膜的原子层沉积:近期进展挑战和前景的回顾
机译:反应机理对氧化硅和氮化硅原子层沉积中前驱体暴露时间的影响