机译:使用常规微加工自控制造单晶硅纳米束
top-down batch fabrication; single-crystalline structure; silicon nanobeam; standard lithography; thermal-piezoresistive electromechanical resonator;
机译:使用常规微加工自控制造单晶硅纳米束
机译:使用单晶硅硬掩模在散装金刚石中制造三角形纳米束波导网络
机译:高质量因子氮化硅纳米束腔的制备与表征
机译:使用常规微加工技术制造3D硅光子晶体结构
机译:飞秒激光微加工用于硅模具制造和热压花用于聚合物微复制的实验表征。
机译:硅纳米束迷宫中的声子传导
机译:具有光学平坦单晶硅微镜的表面微加工2D光学扫描仪