机译:与快速热蒸发物理气相沉积(PVD)相比,等离子体增强化学气相沉积(PE-CVD)在植入氧化铝陶瓷上产生更好的生物相容性SiOx薄膜的水解稳定性
PVD; PE-CVD; oxide ceramics; SiOx thin film; silanization;
机译:与快速热蒸发物理气相沉积(PVD)相比,等离子体增强化学气相沉积(PE-CVD)在植入氧化铝陶瓷上产生更好的生物相容性SiOx薄膜的水解稳定性
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:等离子体增强化学气相沉积合成超薄非晶碳膜的热稳定性,过滤的阴极真空弧
机译:用于晶体光伏太阳能电池的柔性多晶金属基板上的异质外延硅薄膜:物理气相沉积与等离子体增强化学气相沉积之间的比较
机译:通过等离子增强化学气相沉积在聚合物基材上沉积无机薄膜。
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:低温热氧化物到等离子增强化学气相沉积氧化物晶片的键合,用于薄膜转移应用
机译:用电子束生成等离子体的等离子体增强化学气相沉积siOx薄膜