高精度·高速·省エネ·環境に優しいヘリウムリークテスト装置

摘要

ヘリウムガスをトレーサガスとして試験体のリークの有無やリーク屋を自動的に測定·判定を行う装置のことをヘリウムリークテスト装置という。本稿ではその原理と最新型自動ヘリウムリークテスト装置ALT·Sシリーズ、新型リークディテクタ(HELIOT-ZERO)を紹介する。