ゾル－ゲル法による有機－無機ハイブリッド光導波路の作製

摘要

C＝C二重結合を有する有機－無機ハイブリッド材料をゾルザル法により調製し、それを用いた光導波路の作製方法について検討した。 スピンコーーティングにより、厚さ10μm以上のクラッド膜と厚さ7μm程度の厚さのコア膜を作製した。 UV露光による光重合反応及びプロパノールによる化学エッチングを利用することで、コア形状が幅5～20μm、厚さ7μmのリッジ型導波路及び埋め込み型導波路を作製した。