クリーンルーム用高性能床免震システム半導体工場の生産装置に生じる地震の揺れを低減する

摘要

先の三陸沖南地震、また、芸予地震、鳥取西部地震など阪神大震災以降大きな地震が続いている。 また、ニュースになるほどではないが、震度4程度の地震は日本国内で頻繁に起きている。 そういった地震では建築構造体の損傷はほとんど報告されていないが（兵庫県南部地震は別として）、建築で謂う2次部材に損傷を受け、クリーンルームの機能を維持できないことがある。 また、生産装置自体も地震に強いものから敏感なものまであり、震度4程度の中地震でも損傷を受け生産に支障をきたす場合もある。こういった最大級の地震ではないが頻繁に（数年に一度程度）発生する中小地震に対し点検だけで再稼働できるか、または、被害がでてもなるべ〈早く復旧して損害を最小限に留められるような対応が望まれている。このような要望の中で、当社では生産装置に生じる地震時の揺れを低減する、半導体系グリーンルーム用の免震床システムを開発した。