ヘテロジーニアス三次元集積化技術：LTCCウェーハを用いるRF-MEMSデバイスと三次元集積化モジュール

摘要

LTCC、薄膜パッシブデバイス技術、そしてMEMS技術の利点を組み合わせるヘテロ三次元集積化技術について述べる。この集積技術を用いた小型デュプレクサモジュールと次世代RFフロントエンドモジュール実現のためのRF-MEMSデバイスの試作と評価に関して述べる。