マイクロバブルとクリーンテクノロジー：マイクロバブルによる低環境負荷洗浄技術－グリーンファクトリーを実現する溶剤レス洗浄技術

摘要

近年様々な異常気象が報告されるようになり、先進諸国を中心とする世界的な環境改善への取組みが強く望まれている。 我が国においても京都議定書に基づく炭酸ガスの排出量削減が大きな課題である。 これらを背景にPollutant Release and Transfer Register (PRTR)法、改正省エネ法などの法整備も急速に進められている。 企業経営においてもEHS (Environment, Safety and Health)を考慮したプロセス開発など環境配慮型の企業活動の重要度が増している。 半導体や液晶をはじめとするエレクトロニクス分野の製造工程の中でも洗浄工程は様々な化学物質を用いており、環境負荷およびコスト削減が強く求められている。 特に、電子機械部品の洗浄では、加工、切削、研磨工程などで用いられる工業用油脂を除去するため、大量の炭化水素系の有機溶剤や強アルカリの溶剤を用いており、大量の有機汚染を効率的に除去するための、新しい洗浄方法が強く求められている。