富士通あきる野テクノロジセンターのクリーンルーム

摘要

富士通電子デバイスグループでは、システムLSI、フラッシュメモリ、化合物半導体、SAWフイルタ、PDP、LCDといった最先端技術に基づく高村加価値デバイスに量点を置き、デバイステクノロジの面から、インターネット·ソリューションを提供している。 こうした中、更なる開発力の強化と開発効率を高めるため、LSIの開発·設計部門を00年7月より順次あきる野に集結させ操業を開始した。 その後、01年12月には局所クリーン化方式を全面的に採用した新クリーンルーム(CR)を用い、世界に先駆けて90 ナノメートル(nm)ノードの最先端LSI の試作量産を行うプロセス棟を竣工させた。 集結状況を図1に示す。