シリコン·ウェーハのピンホール欠陥②：ピンホールの形状解析結果と検出方法

摘要

シリコン·ウェーハのピンホール欠陥の悪影響と欠陥検出方法、ピンホール欠陥の物理的実体であるシリコン中の球状欠陥の形状解析結果について報告した。