クリーンルームのリニューアルに適した空調システム：バーチャルダクト·クリーンルームシステム

摘要

半導体関連工場やフラットパネルディスプレイ(FPD)関連工場を中心に、粒径0.5/μm以上の塵埃を対象としたISO清浄度クラス6～8のクリーンルーム（以下、CR）需要が拡大している。クラス6～8のCR空調システムに対する主な要求は次の4点である。①短工期；②低コスト；③良好な室内清浄度·温湿度分布；④ライン変更に追従したフレキシビリティ。本稿では、これらの要求を満足する新しいCR空調システム「バーチャルダクト·クリーンルームシステム（以下、VD-CRシステム）」を紹介する。