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マルチスケール配線寿命予測シミュレータの開発とCu配線への応用

机译:多尺度布线寿命预测模拟器的开发及其在铜布线中的应用

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摘要

当研究室で新たに開発したキネティックモンテカルロ法シミュレータによりデバイスレベルのエレクトロマイグレーション現象の再現に成功した.さらにこの現象をミクロレベルで理解する目的で,同じく当研究室で開発した電気伝導特性推算シミュレータにより求めた原子レベルの局所的な電子流密度を基礎データとして電子風力の空間分布を推算し,原子レベルでのエレクトロマイグレーションついて検討した.
机译:我们使用在实验室中新开发的动力学蒙特卡洛方法模拟器成功重现了设备级的电迁移现象。此外,为了从微观角度了解这种现象,我们还根据在我们实验室中开发的电导特性估算模拟器获得的原子水平上的局部电子流密度来估算电子风力的空间分布,并估算了原子风力。我们在该水平上检查了电迁移。

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