Структурно-фазовое состояние и локальные механические свойства пленок фуллерит - алюминий с разной атомной долей металла

摘要

Получены пленки фуллерит-алюминий с разной атомной долей металла (от 1 до 40 ат.% А1)из совмещенного атомно-молекулярного потока на подложках из окисленного монокристаллического кремния. Исследованы структура, фазовый и элементный состав, локальные механические свойства пленок методами рентгеноспектрального и рентгенофазового анализа, комбинационного рассеяния света и атомно-силовой микроскопии. Установлена зависимость размера структурных элементов, фазового состава, распределения локальной жесткости и латеральных сил на поверхности пленок от атомной доли металла.